超纯水水质在液晶面板制程中的影响

液晶面板生产大约50%以上工序中硅片与超纯水直接接触，有80%以上工序需要进行化学处理，而化学处理又与超纯水有密切关系，并且直接与工件接触。如果水质不纯，就会导致器件性能下降，影响产品性能，进而影响产品的良率。因此,超纯水的品

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www.purewaterone.com/article/detail/148.html         2018-01-19