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工业半导体超纯水设备有哪些
解答:工业半导体超纯水设备有哪些
半导体设备,包括半导体硅片制造中的清洗设备、蚀刻处理设备、清洗工艺等。集成电路是当今世界上最大、最复杂的电子产品之一,集成电路已成为一种重要的电子产品。目前,国际上主流的集成电路制造工艺为外延、芯片制作、封装以及测试工艺所组成。其中,硅片制造采用外延技术,芯片制作则是芯片生产中最为关键的环节之一。而用超纯水对硅片进行清洗及蚀刻是使硅片表面达到洁净级的方法之一,在目前国内还没有成熟设备可用于此项工作。
一、超纯水制备过程
超纯水制备过程,主要是指通过反渗透设备(RO)对原水进行预处理,去除水中的悬浮物、胶体等杂质;再利用阳离子交换树脂去除水中的有机物、细菌等有害物质;最后通过高压蒸馏装置,用纯水进行进一步纯化处理,使原水达到超纯水标准。在此过程中,需注意以下几点:
1、对于不需要进一步纯化处理的原水中有有机物、细菌超标的情况下,可采用离子交换树脂去除这些物质;2、对于需要较高纯度水的系统如:半导体制造工艺中用于清洗工艺设备需用高纯度超纯水;
3、在选择反渗透膜组件时应尽量避免使用膜通量偏低或者截留率偏高的设备,以保证正常使用时不会因超滤膜通量低导致反渗透系统结垢。
二、设备构成及技术指标:
采用 RO膜处理工艺, RO设备由三个部分组成:膜池、纯化水箱、控制箱。RO设备的运行原理为:在纯水器内加入一定量的混凝剂,通过混凝沉淀将水中杂质及胶体物质分离去除;然后再经过一系列工艺过程来达到超纯水的生产要求。纯化水箱用来储存超纯净水、纯水、有机溶液及其他杂质,控制箱是对整个系统运行的一个监控系统,当 RO装置正常运行时,产水通过控制箱直接与纯水和有机溶液相连。
三、主要技术参数:
1、原水水质:纯水标准;
2、运行成本:不含电导率,运行费用低;
3、纯水通量:10L/h左右。
四、典型应用实例介绍:
超纯水设备可用于半导体行业中超纯水生产的工艺流程,主要包括离子交换膜清洗、反渗透纯化以及后续的化学清洗。该工艺可用于大规模集成电路生产的硅片清洗及蚀刻,并可进一步减少硅杂质和提高电性能。在实际应用中,通常将高纯水系统和化学清洗系统进行有机结合,采用多层膜分离技术对产水水质进行监控、管理及控制,使产水量达到规定要求。采用超纯水设备对半导体芯片生产线进行制膜操作,使其产水水质可达到国家规定的超纯(超纯为5-10倍)和高纯(含杂质≤0.003 mg/L,可保证集成电路生产过程中产生的杂质、水垢等对生产工艺影响最小)。该系统可以确保产水量的稳定性及可控性,是高纯超纯水生产企业理想的解决方案。
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纯水处理滤芯种类有哪些?
解答:
纯水处理滤芯种类有哪些?
纯水设备的处理滤芯种类很多,在工业纯水处理中,一般来说采用反渗透、EDI等过滤。这几种纯水处理可以满足大部分用户的用水需求。
纯水处理滤芯种类:
1.活性炭滤芯:这种滤芯是由果皮、果核、木炭、煤等主要的原材料,经过高温处理,从而组合成活性炭,活性炭滤芯可以有效的阻挡杂志、细菌、病毒、化工等污染物,不过这种滤芯在生活用水和市政用水的情况较多,工业上用作污水处理的较多。
2.RO反渗透膜:这种材料常常用于工业化纯水设备,在特制的水处理系统中,用高压水泵增加原水的压力,使原水在压力的作用下渗透过孔径只有0.0011微米,这种过滤效果很好。水质通过ro膜只有水分子能过滤出来,其他的杂质、细菌、病毒均不能通过。过滤出来的水也被称为纯水,符合国家用水的标准,也可以直接饮用。
3.陶瓷滤芯:陶瓷滤芯是由硅藻土经成型和高温烧结而成。其净化原理与活性炭相似,但过滤效果好,使用寿命长。0.1微米的孔径可以有效过滤掉水中的泥沙、生锈的铁、一些细菌和寄生虫。滤芯容易再生,可以经常用刷子清洗,用砂纸打磨。
以上就是关于纯水处理滤芯的部分种类,有关更多关于滤芯的知识,欢迎关注深圳市澳门太阳成tyc122cc官网www.purewaterone.com更多关于纯水设备的知识!
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活性炭过滤器的作用和原理——澳门太阳成tyc122cc
解答:
活性炭过滤器的作用和原理——澳门太阳成tyc122cc
什么是活性炭过滤器?活性炭过滤器的作用是什么?原理是什么?今天就让小编带大家来了解一下!
活性炭过滤器一般常用于纯水设备上,是纯水设备上关键的一部分,活性炭过滤器通过吸附,可以提高水质,防止污染。
活性过滤器是一种罐体内部填装的材料,外壳由器械包裹,一般为不锈钢或者是玻璃钢,内部填充材料,用来过滤纯水设备中的水质,降低水的色度和金属离子等。有效的提高水质。被广泛的应用在工业上,尤其是污水处理,生活用水和市政用水上起着至关重要的作用。
活性炭材料的组成主要是煤、木炭、果核等原材料,经过高温处理碳化处理,产出来的原材料就是活性炭了。纯水设备不仅有活性炭过滤,其超滤、纳滤、反渗透、离子树脂等在净化水质上同样发挥着巨大的作用。