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电导率要求：电导率是衡量水质纯度的重要指标之一。对于玻璃基板行业来说，电导率必须非常低，一般在1—10μS/cm的范围内。微生物的限制：由于玻璃基材对杂质非常敏感，因此要求超纯水中的微生物含量极低，一般要求不含细菌和有害微生物。化学成分限制：不能含有对玻璃基板有害的化学成分，如重金属、有机物、溶解固体等。

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电导率≤0.1μs/cm、电阻率10-15MΩ·cm的水质为去离子水。去离子水的电导率非常低，通常在几个微塞米/厘米（μS/厘米）到几十个微塞米/厘米的范围内。可以说，去离子水中几乎没有离子。几乎不含溶解性固体，包括无机盐、微量元素等杂质。

1. 清洗加药箱：清洗时，关闭加药箱底部的排污阀。注满水并清洗干净后，打开排水阀将水排出。清洗两次或更多，然后再开始加药。2. 调节计量泵的加药行程：逆时针旋转计量泵行程调节旋钮至相应刻度。3. 配制：检查并关闭加药箱底部的排污阀，根据加药箱内有效容积和计量泵的实际工作量计算加药量。从投药箱的进水口加入药物，打开进水阀，稀释至最高液位，关闭补水阀。