目前制备电子工业用超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将他们的优缺点分别列于右边：
采用反渗透纯化水处理技术，前置预处理配套使用+反渗透系统，有效去除水中各种盐份及杂质，使产水达到纯化水标准，产水水质稳定、操作简便、运行费用低、绿色环保无污染、维护方便等优点。
使用双级反渗透设备，能有效去除水中带电离子、无机物、胶体微粒、细菌及有机物，获得高纯净水。
采用双级反渗透+EDI电去离子技术，水中几乎不含离子，适用于生物医药注射液的配置。
目前食品行业主要采用预处理+一级反渗透、预处理+两级反渗透、预处理+两级反渗透+EDI的生产工艺。可选择消毒方式：活性炭巴氏消毒、CIP清洗系统、分配系统臭氧灭菌、分配系统巴氏消毒、分配系统纯蒸汽灭菌。
1、GB 17324-2003瓶(桶)装饮用纯净水卫生标准
2、GB5749-2006生活饮用水卫生标准
3、CJ94-1999饮用净水标准
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