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玻璃用水使用纯水设备可以去除水中的有机物、微生物、重金属、铁锈、余氯等有害物质，达到可以直接使用的程度，这样既可以提高产品质量又可以节约能源，但在工业生产中为了降低成本和节约资源，常常会使用化学方法进行提纯等操作。而化学提纯会造成环境污染，因此在工业生产中使用纯水设备来去除杂质。

半导体超纯水设备，也叫半导体超纯水机，是指应用离子交换和电渗析器等水处理设备将原水（或回水）中的离子交换树脂进行脱盐，使原水（或回水）的水质达到10~5μm数量级的处理工艺。半导体超纯水设备工艺采用预处理+反渗透+ EDI+消毒工艺，

EDI是以电除盐为主要处理工艺的深度处理技术。其原理是在阴阳两个电极（阳离子交换柱和阴离子交换柱）之间施加一定电压，通过操作条件不同时，阴阳离子在电场作用下向电极移动的过程中发生转移和分离而得到分离，并与水中的杂质相结合而达到净化目的。

反渗透膜系统主要用于去除水中的离子和有机物，并将水分解成水和离子。反渗透膜系统的核心部件是反渗透膜。其主要功能是除去水中的悬浮物、胶体和细菌等有害物质，去除水中的有机物及大分子有机物为纯水、浓水和超纯水。通过反渗透膜，将水中的溶质完全分离出去，使水中含有较高浓度的盐分和微量物质通过。