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超纯水在集成电路工业中主要应用于半导体原材料与工业器皿的清洗和光刻掩模版的制备以及作为硅片氧化用的水汽源等。另外，在薄膜和印刷电路、厚膜电路与其他固态电子器件以及真空管的制作都会使用超纯水。